FIB雙束電鏡的真空系統(tǒng)是如何工作的?
FIB雙束電鏡是利用電磁透鏡將離子束聚焦成非常小的點,然后用這個點在樣品上進行掃描,通過檢測二次電子或背散射電子信號來獲取樣品表面信息的設(shè)備。常用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、生命科學(xué)等領(lǐng)域中的微觀分析、刻蝕和沉積等操作。FIB雙束電鏡的真空系統(tǒng)對于其正常運作至關(guān)重要,因為高真空環(huán)境可以保證離子束和電子束不會與氣體分子發(fā)生相互作用,從而避免束流散射和能量損失,確保成像和加工的精確性。下面是FIB雙束電鏡真空系統(tǒng)的一般工作原理:1、初級泵抽:啟動時,首先會使用機械泵或旋片泵進行初級抽...